光子学报
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光子学报  2018, Vol. 47 Issue (5): 0530001    DOI: 10.3788/gzxb20184705.0530001
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集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型光谱模组及其波长定标
王绪泉1,2, 黄松垒1,2, 于月华1,2, 叶捷敏1,2, 邵秀梅1,2, 方家熊1,2
1. 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术联合国家重点实验室, 上海 200083;
2. 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083
Integrated Linear Variable Filter/InGaAs Focal Plane Array Spectral Micro-module and Its Wavelength Calibration
WANG Xu-quan1,2, HUANG Song-lei1,2, YU Yue-hua1,2, YE Jie-min1,2, SHAO Xiu-mei1,2, FANG Jia-xiong1,2
1. State Key Laboratories of Transducer Technology, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083, China;
2. Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083, China

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