光子学报
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光子学报  2018, Vol. 47 Issue (6): 0614003    DOI: 10.3788/gzxb20184706.0614003
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线偏振光和圆偏振光下ZrO2和Al2O3陶瓷材料的飞秒激光烧蚀性能
张军战1, 张媛敏1, 刘永胜2, 张颖1, 刘乾3
1. 西安建筑科技大学 材料与矿资学院 功能材料研究所, 西安 710055;
2. 西北工业大学 凝固技术国家重点实验室, 西安 710072;
3. 西安中科微精光子制造科技有限公司, 西安 710199
Femtosecond Laser Ablation Properties of ZrO2 and Al2O3 Ceramics at Linear and Circular Polarized Light
ZHANG Jun-zhan1, ZHANG Yuan-min1, LIU Yong-sheng2, ZHANG Ying1, LIU Qian3
1. Functional Material Laboratory, College of Materials & Mineral Resources, Xi'an University of Architecture and Technology, Xi'an 710055, China;
2. State Key Laboratory of Solidification Processing, Northwestern Polytechnical University, Xi'an 710072, China;
3. Xi'an MicroMach Technology Co., Ltd, Xi'an 710199, China

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