光子学报
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光子学报  2019, Vol. 48 Issue (7): 0704001    DOI: 10.3788/gzxb20194807.0704001
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用于LiDAR的16×1列阵CMOS单光子TOF图像传感器
曹静1,2, 张钊1,2, 祁楠1,2, 刘力源1,2, 吴南健1,2,3
1. 中国科学院半导体研究所 半导体超晶格国家重点实验室, 北京 100083;
2. 中国科学院大学 材料与光电研究中心, 北京 100049;
3. 中国科学院脑科学与智能技术卓越创新中心, 北京 100083
A 16×1 Pixels 180 nm CMOS SPAD-based TOF Image Sensor for LiDAR Applications
CAO Jing1,2, ZHANG Zhao1,2, QI Nan1,2, LIU Li-yuan1,2, WU Nan-jian1,2,3
1. State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100083, China;
2. Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100049, China;
3. Center for Excellence in Brain Science and Intelligence Technology, Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100083, China

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